造成真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲脆斷的原因？
2023.01.02
靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、清除時(shí)間、工作真空度、級(jí)限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。
①靈敏度及其校準(zhǔn)
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的較小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的*小漏孔漏率。所謂“*佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到*佳值，被檢件出氣少且沒(méi)有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“*小可檢”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí)，才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過(guò)漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的波動(dòng)量。
②反應(yīng)時(shí)間、清除時(shí)間及其測(cè)定
反應(yīng)時(shí)間是指儀器節(jié)流閥完全開(kāi)啟，本底訊號(hào)為零（或補(bǔ)償?shù)搅悖r(shí)，由恒定的氦流量使輸儀表訊號(hào)上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的時(shí)間，記為τR。
清除時(shí)間是指輸出儀表訊號(hào)穩(wěn)定到值后，停止送氦，其訊號(hào)下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的時(shí)間，記為τC。
③工作真空、級(jí)限真空及入口處抽速
質(zhì)譜室級(jí)限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的級(jí)限真空和工作真空。利用流量計(jì)可測(cè)定儀器入口處抽速。
科技信息化不斷更新迭代的市場(chǎng)，真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和完善。一方面過(guò)去的氦質(zhì)譜檢漏儀不能滿(mǎn)足現(xiàn)階段的一個(gè)需求，而且對(duì)檢漏儀提出新要求的情況下，檢漏儀設(shè)備被迫更新，另一方面每個(gè)行業(yè)的不足都在進(jìn)步的過(guò)程，缺陷與不足相互補(bǔ)充，相互促進(jìn)。而現(xiàn)在的氦質(zhì)譜檢漏儀早已告別了四五十年代的初期情形，在性能和領(lǐng)域上都有新的突破。
真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)展集中體現(xiàn)如下方面：
1.智能化：以往的真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動(dòng)檢測(cè)。
2.便捷化：這幾年市場(chǎng)上各種小型便捷的檢漏儀能夠?yàn)樾袠I(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。
3.自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單的選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。
4.全無(wú)油的干式檢漏：有些生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。
5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四級(jí)檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。
